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靜電吸盤測試臺

一 基本功能：

靜電吸盤的吸附原理主要基于靜電吸附。在沒有等離子體的環(huán)境下，當直流電極接通到高壓（低流）直流電源后，電介質(zhì)的表面會產(chǎn)生極化電荷。對于庫侖吸盤（吸盤不同種類中的一種）而言，這會導(dǎo)致電介質(zhì)表面出現(xiàn)極化電荷。而對于JR吸盤，除了極化電荷外，還有一部分自由電荷，因為這類吸盤的電介質(zhì)具有一定的導(dǎo)電性。這些表面電荷會產(chǎn)生電場，該電場進一步在置于吸盤之上的晶片表面產(chǎn)生極化電荷，這些電荷的分布與吸盤上的電荷極性相反。當晶片背面分布的電荷與吸盤上相反時，晶片就被吸盤吸附住了。靜電吸盤通過施加外部高壓，利用靜電吸附力或J-R吸附力來固定硅片。這種吸附力使得硅片能夠被穩(wěn)定地固定在吸盤上，以滿足半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的應(yīng)用需求。

為了保證晶圓不與吸盤接觸， 吸盤表面均布氦氣孔， 用于生產(chǎn)氣墊拖住晶圓 ， 使之與電極產(chǎn)生的吸力平衡

二 測試原理：

靜電吸盤測試臺配置不同規(guī)格晶圓尺寸的被動吸盤， 吸盤背面預(yù)留對應(yīng)出氣孔位置的氣體接口， 每個接口用于連接對應(yīng)的壓力和流量傳感器， 最多預(yù)留16路接口， 16路的壓力和流量對應(yīng)顯示在計算機上，

被動吸盤整體與測力傳感器連接， 當靜電吸盤工作時， 可以測試不同電壓下和不同的氣體流量壓力時 ， 實時對外輸出的力， 可以校正不同電壓時，對應(yīng)不同的氣體流量，分別輸出的實際吸力，并且實時顯示每一路氣體的壓力流量， 用于校正晶圓整體受力是否均勻。

三 靜電吸盤測試臺基本參數(shù)

1. 最大吸附力：500N

2. 力值精度：±0.5%

3. 適配晶圓規(guī)格：10/8/5寸

4. 傳感器壓力范圍：0.1-50torr

5. 傳感器流量范圍：0.1-500sccm

6. 傳感器精度：±1%

7. 傳感器供電：24V

8. 系統(tǒng)耐壓等級：1000V

9. 外形尺寸：1200*950*1650

10. 整機功率：2kw

11. 整機重量：260kg

四 靜電吸盤測試臺基本配置：

1. 鋁合金臺架        一套

2. 大理石臺面        一套

3. 垂向移動滑臺      一套

4. 吸盤安裝座        一套

5. 被動吸盤          一套

6. 氣體轉(zhuǎn)接板        一套

7. 壓力傳感器        16支

8. 流量傳感器        16支

9. 通訊轉(zhuǎn)換器        1臺（35路）

10. 計算機及軟件     一套

11. 隨機工具         一套

12. 防靜電腳墊       若干

13. 防靜電手環(huán)        2副

標簽：靜電吸盤測試臺